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電子級 雙(4-叔丁基苯基)碘鎓全氟-1-丁磺酸

Bis(4-tert-butylphenyl)iodonium perfluoro-1-butanesulfonate

產品編號 CAS No. MDL No. PubChem ID 分子式 分子量 純度 外觀
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英文名稱 Bis(4-tert-butylphenyl)iodonium perfluoro-1-butanesulfonate
中文名稱電子級 雙(4-叔丁基苯基)碘鎓全氟-1-丁磺酸
CAS號194999-85-4
產品編號YH68175
分子式C24H26F9IO3S
分子量692.414
SolubilityPGMEA: ~40%

電子級雙(4-叔丁基苯基)碘鎓全氟-1-丁磺酸是一種高純度光敏化合物,廣泛應用于先進微電子和光刻材料中。其結構中含有穩定的碘鎓陽離子和全氟丁基磺酸陰離子,賦予了其優異的光敏性和化學穩定性。該產品主要用于深紫外(DUV)和極紫外(EUV)光刻膠,助力高精度光刻圖形的生成,適用于半導體和微納電子制造的先進工藝。

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【物理性質】

基本性質

1)化學名稱:雙(4-叔丁基苯基)碘鎓全氟-1-丁磺酸。

2)分子式:C24H26F9IO3S

3)分子量:692.414 g/mol

外觀與溶解性

1)外觀:白色至淡黃色粉末或結晶體。

2)溶解性:可溶于常見有機溶劑,如甲醇、乙腈和丙酮,微溶于水。

熱穩定性與純度

1)熱穩定性:在200℃以下保持化學穩定性。

2)純度:≥99.9%,符合電子級材料的質量要求。

【應用領域】

光刻膠材料

1)作為深紫外(DUV)和極紫外(EUV)光刻膠中的光酸生成劑,提高光刻分辨率和加工精度。

2)用于高端芯片制造中,支持先進工藝節點的生產。

微電子制造

1)在晶圓加工環節提供高效的光敏功能,幫助實現高分辨率的圖形轉移。

2)適用于多層膜結構和微納器件的制作。

顯示與光電應用

1)支持高分辨率顯示器單元的光刻工藝,提升顯示性能。

2)應用于光電子器件制造,提高器件性能和可靠性。


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